電子特氣工藝系統組成及要求

電子特氣工藝系統一般性要求

電子特氣工藝系統是用來處理特殊氣體的一個系統，這里主要介紹下工藝氣體系統及特種氣體工藝系統的組成及以下設計方面的要求。

電子特氣工藝系統簡介

　　我們知道一般工藝氣體都是儲存在鋼瓶中，在集中供氣系統中一般要有專用裝置儲存鋼瓶，在過去十多年中，蓋斯帕克沒有發明集中供氣之前，特種氣體供應沒有形成有效的系統，鋼瓶凌亂，管理混亂，不相容氣體混放等問題非常嚴重，極大的影響到用氣安全。
　　

電子特氣工藝系統統組成

　　

       1、儲存、供氣的氣瓶柜、氣瓶架、集裝格。

　　2、氣體分配用閥門箱、閥門盤。

　　3、輔助氮氣吹掃系統。

　　4、尾氣處理裝置。

電子特氣工藝系統要求

　　1、電子特氣工藝系統的設計應滿足電子產品生產工藝對特氣工藝的參數、污染控制、使用安全的要求。

　　2、不相容的特種氣體的排氣管道不得接入同一排氣系統。

　　3、不相容的特種氣體的排風管道不得接入同一排風系統。