特氣系統(tǒng)是保證半導(dǎo)體、集成電路、太陽(yáng)能電池、光纖和科研實(shí)驗(yàn)室等高新型技術(shù)行業(yè)中特種氣體的安全穩(wěn)定輸送的供氣系統(tǒng)。VMB在特氣系統(tǒng)中是特氣分配到各工藝用氣點(diǎn)的氣體設(shè)備。

特種氣體

特種氣體，簡(jiǎn)稱(chēng)特氣，又名電子特氣，是生產(chǎn)半導(dǎo)體、集成電路、太陽(yáng)能電池等電子產(chǎn)品的特殊氣體，這些特殊氣體大多都是易燃易爆、有毒、腐蝕性、氧化性等性質(zhì)的危險(xiǎn)性氣體，如硅烷SiH4、笑氣N2O等。

特氣系統(tǒng)的組成

特氣系統(tǒng)由供氣端（一般是氣體鋼瓶）、GC電子特氣柜/GR特氣架、氣體分配箱VMB/VMP、耐腐蝕的EP不銹鋼氣體管道、氣體泄漏監(jiān)測(cè)報(bào)警系統(tǒng)、使用終端等組成。

VMB在特氣系統(tǒng)中的經(jīng)濟(jì)性

首先，我們來(lái)了解一下VBM在特氣系統(tǒng)中的作用，VMB 可根據(jù)客戶(hù)的實(shí)際需求來(lái)設(shè)計(jì)2、3、4、5或其他點(diǎn)數(shù)的數(shù)目，將氣體一分多，給不同工藝用氣設(shè)備供氣，同時(shí)供應(yīng)數(shù)臺(tái)機(jī)臺(tái)，亦可加調(diào)壓閥做二次調(diào)壓讓壓力更加的穩(wěn)定，設(shè)定上下警報(bào)訊號(hào)做更有效的供應(yīng)控制。

同時(shí)，在特氣系統(tǒng)中，特氣的每次使用都是需要經(jīng)過(guò)吹掃和抽真空的，對(duì)于使用同種氣體的不同用氣設(shè)備，配置氣體分配箱VMB則只需要做一次吹掃和抽真空，節(jié)省時(shí)間成本和人力成本。

以上就是關(guān)于特氣系統(tǒng)中氣體分配箱VMB作用的簡(jiǎn)單介紹，感謝您的閱讀！