半導體工廠在制程過程會產生廢氣，超高純電子特氣系統的使用也會有特氣殘留，這些廢氣/尾氣如果直接排放到空氣中會造成污染，破壞環境，深圳沃飛科技設計并提供特氣尾氣處理設備從而成功解決這個問題。

吸附式尾氣處理設備的工作原理：

制程過程產生的廢氣在風機壓力下由入氣口管道進入主吸附桶，廢氣中需要處理的氣體組分在主吸附桶中被吸附劑吸附處理，吸附后的廢氣經變色球檢驗后從出氣口排出，變色球的指示劑會隨著氫鍵之濃度增加度的不同產生顏色的變化，通過的氣體是中性氣體，不變色，由出氣口排出（PFCs不能用變色球辨別，因為它本身是中性氣體）。

吸附式尾氣處理設備的性能特點：

1. 以吸附桶完全處理設備尾氣;

2. 沒有明火、無塵室內不產生火源;

3. 節省能源、沒有高耗能的需求;

4. 不需要耗用水資源，沒有廢水處理問題;

5. 確保尾氣處理的安全性處理過程中沒有危害；

6. 妥善處理廢料，不影響地球環境。

吸附式尾氣處理設備吸附材處理效率：

特氣尾氣處理設備的介紹就是上面這些了，特氣是具有易燃易爆、劇毒、腐蝕性等危險性的特種氣體，如果未經處理直接排放，是不被允許的，會對環境造成很大的污染。保護環境，從廢氣處理做起，從沃飛做起，從你我做起。