Gas Scrubber，特氣柜，使用Arsine（AsH3）氣體進行LPCVD工藝的處理信息

問：我們需要為新的摻雜工藝添加一個LPCVD工具，我們需要將其接入產線。該過程要求使用砷化氫（AsH3），我們對此沒有很多經驗，但是我們知道這氣體是劇毒的。我們需要在Fab中添加一個特氣柜和一個尾氣處理設備來處理這種氣體。您對特氣柜和尾氣處理設備有什么建議？我需要做一個特別的氣瓶房來存放這些氣瓶嗎？由于其毒性，我是否需要雙套管氣體管道？感謝您的幫助。

答：謝謝你的提問。是的，砷化氫（AsH3）是用于二氧化硅加工工藝的特別危險的氣體。它被歸類為高毒，易燃氣體，因此您需要適當的氣瓶間來存放它。此外，由于它是氫化物氣體，因此對對空氣的濕度也有要求。我們強烈建議您使用全自動特氣柜，以確保您更換瓶子既安全又有效，可以防止面板上的水分進入。您還需要凈化氣體凈化器，以清除凈化氣體供應中可能存在的任何水分。最后建議管道安裝時使用雙套管管道安裝。

關于Gas Scrubber氣體廢氣處理設備，AsH3通常以小流量運行，并且吸附式的尾氣處理設備可以成功消除AsH3氣體，因此建議使用干式吸附式尾氣處理系統。