依據其化學性質，特氣可分為惰性氣體、可燃性氣體、自燃性氣體、氧化性氣體及腐蝕性氣體幾種。

工業(yè)上常用的惰性氣體有CF4、C4F8、SF6、Ar、CO2、He、Xe、Ne等；可燃性氣體有AsH3、B2H6、NH3、TEOS、TMB；自燃性氣體有SiH4、PH3等；氧化性氣體有NO、NF3等；腐蝕性氣體有HCl、HBr、BCl3、BF3、SiCl4、POCl3、PF3、PF5等。值得注意的是，很多特氣都同時兼具以上兩種性質，如SiH2Cl2、SiHCl3同時具有可燃性和腐蝕性。再如Cl2、F2同時具有腐蝕性和氧化性。

一般半導體、光伏等行業(yè)在其主體廠房一層都建有專門的特氣房，并根據所用氣體的種類和性質劃分不同的氣體間。如果廠房所用特氣為高毒、易燃易爆且存儲量達到一定值時，則需在離廠房安全距離以外的區(qū)域建立氣站為產線供氣。

氣站內根據特氣的分類劃分不同氣體間，如惰性氣體間、可燃性氣體間、自燃性氣體間、腐蝕性氣體間。各氣體間選擇不同的特氣供應設備、特氣監(jiān)測設備及防護設施。如惰性氣體間需安裝氧氣偵測器，實時監(jiān)控房間內氧氣濃度，若低于安全限制能及時報警。由于可燃及自燃性氣體一旦發(fā)生泄漏，則存在爆炸的風險，因此可燃及自燃性氣體間在設計上需考慮防爆、消防滅火設施等因素，同時其供應設備內也應配制火焰探測器或者溫度探頭。

特氣根據其性質進行分區(qū)管理，不但便于特氣運行人員日常操作，發(fā)生異常情況能及時處理，而且一旦發(fā)生事故則可降低事故風險，減小疊加傷害。

以上就是沃飛關于特氣管道知識：特氣的化學性質分類的一些見解，希望能給有需要的人士提供參考